ADL HXB 900–HXB 1400系列为中频/双极脉冲发生器,将90-140kW大功率、紧凑设计与极快电弧抑制功能集成于稳定机柜之中。产品专为长达四米的阴极设计,适配电容性镀膜工艺,通过阴极功率自动对称化处理及非对称脉冲功率比控制器(最高支持10:90%),可显著优化涂层质量并延长靶材寿命。
设备具备全自动参数识别能力,可实时识别所有关键工艺参数并持续调节电弧检测与抑制功能,启动操作或更换靶材时无需手动调整,工艺重现性优于2%。配备强效水冷系统,即使在非空调环境下仍能保持最高可靠性,满足工业大规模生产的严苛需求。
| 亮点一 | 亮点二 | 亮点三 | 亮点四 | 亮点五 | 亮点六 | 亮点七 |
| 输出功率90-140kW | 强效水冷系统 | 支持4米长阴极工艺 | 阴极功率自动对称化 | 非对称功率比10:90% | 全自动电弧管理(0.3 mJ/kW) | 工艺重现性优于2% |
| 参数名称 | 具体规格 |
| 系列型号 | ADL HXB 900–HXB 1400 |
| 工作模式 | 中频发生器、双极脉冲发生器 |
| 输出功率范围 | 90 kW – 140 kW |
| 冷却方式 | 强效水冷系统 |
| 适用阴极长度 | 最长可达4米,适配电容性镀膜工艺 |
| 功率控制功能 | 阴极功率自动对称化;非对称脉冲功率比控制器(最高10:90%) |
| 电弧管理 | 全自动电弧检测与抑制,电弧能量0.3 mJ/kW |
| 工艺精度 | 工艺重现性优于2% |
| 操作特性 | 全自动识别关键工艺参数,启动/换靶无需手动调整 |
| 环境适应性 | 非空调环境下可稳定运行 |
ADL HXB 900–HXB 1400系列以90-140kW超大功率输出,专为长阴极(最长4米)电容性镀膜工艺打造,核心优势在于阴极功率自动对称化与10:90%非对称功率调节,兼顾涂层质量优化与靶材寿命延长。0.3 mJ/kW的全自动电弧管理技术,搭配优于2%的工艺重现性,确保大规模生产的稳定性与一致性。
强效水冷系统适配非空调严苛环境,紧凑化机柜设计节省安装空间,全自动参数识别功能降低操作门槛,无需专业调试即可快速投产。产品集大功率、高精度、高可靠性于一体,是工业级大型镀膜生产线的核心动力解决方案,为高效、稳定的电容性镀膜工艺提供强力支撑。