ADL SB 300发生器具备双重工作模式,既可作为中频发生器产生对称交流电流,也可作为双极脉冲发生器生成非对称方波脉冲,适配多元工艺需求。配备专用功率比控制器,既能精确对称化双磁控管靶材的使用寿命,也能通过非对称脉冲功率控制两种不同靶材,脉冲时长由控制器通过脉宽调制(PWM)自动设定。
设备以20kHz固定频率运行,搭载自动电弧抑制功能,跳闸阈值与断开时间参数自动适配所选工艺流程,无需用户编程。支持多台发生器通过控制电缆实现自动同步,同步时将自动切换至外部同步模式,满足大功率、高精度应用场景需求。
| 亮点一 | 亮点二 | 亮点三 | 亮点四 | 亮点五 | 亮点六 | 亮点七 |
| 输出功率15/35kW(交流) | 并联可达280kW | 功率比控制器 | 自动电弧处理 | 自动同步功能 | 水冷系统 | 超紧凑设计 |
| 参数名称 | 具体规格 |
| 型号 | ADL SB 300 |
| 工作模式 | 中频发生器(对称交流电流)、双极脉冲发生器(非对称方波脉冲) |
| 输出功率 | 15kW、35kW(交流) |
| 扩展功率(并联运行) | 最高可达280kW |
| 工作频率 | 固定频率20kHz |
| 核心控制 | 功率比控制器,通过PWM自动设定脉冲时长 |
| 防护功能 | 自动电弧抑制,跳闸阈值与断开时间自动适配工艺(无需编程) |
| 同步功能 | 多台设备可通过控制电缆自动同步,切换至外部同步模式 |
| 冷却方式 | 水冷系统 |
| 设计特点 | 超紧凑设计 |
ADL SB 300发生器以中频+双极脉冲双模式设计,15/35kW功率规格搭配280kW并联扩展能力,灵活适配单/双靶材、对称/非对称工艺需求。核心优势在于专用功率比控制器,既能延长双磁控管靶材寿命,又能精准控制不同靶材功率分配,脉冲参数自动设定无需编程,降低操作门槛。
20kHz固定频率+自动电弧抑制功能,保障工艺稳定性与产品质量;多台自动同步功能满足大功率场景拓展需求,水冷系统与超紧凑设计兼顾散热效率与安装便捷性。产品集多功能、高精度、高可靠性于一体,是工业镀膜、磁控溅射等高端场景的全能型发生器解决方案,为复杂工艺提供高效稳定的动力支持。