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ADL HXF 150–HXF 300系列电源专为敏感涂层的溅射工艺设计,单台输出功率高达30千瓦,支持多台并联运行,输出功率可扩展至240kW。产品具备超强电弧控制能力,全自动电弧处理可将电弧能量降至0.3 mj/kW以下,有效保护敏感涂层不受损伤。
该系列在电气和机械方面与HX型电源完全兼容,且配备脉冲发生器操作接口,适配更多工艺需求;集成温度控制功能,可连接外部电磁阀避免冷凝水产生。同时延续紧凑实用的设计,配备凸缘安装座、可旋转分离显示器等,安装与操作便捷,适配工业生产中的高精度溅射场景。
| 特点一 | 特点二 | 特点三 | 特点四 | 特点五 | 特点六 | 特点七 | 特点八 | 特点九 |
| 输出功率15-30千瓦 | 并联达240kW | 水冷散热设计 | 电磁阀控制 | 外壳通风+颗粒分离器 | 凸缘安装座 | M8吊耳内螺纹 | 可换可旋转显示器 | 全自动电弧处理 |
| 参数名称 | 具体规格 |
| 系列型号 | ADL HXF 150–HXF 300 |
| 单台输出功率范围 | 15千瓦–30千瓦 |
| 扩展功率(并联运行) | 最高可达240kW |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 冷凝水防护 | 集成温度控制,可连接外部电磁阀 |
| 安装设计 | 配备凸缘安装座;M8内螺纹(起重机吊耳) |
| 显示器特性 | 可更换、可旋转,支持与电源分离安装 |
| 兼容与接口 | 与HX型电源电气/机械兼容;配备脉冲发生器操作接口 |
| 核心功能 | 全自动电弧处理(电弧能量≤0.3 mj/kW);外壳通风带集成颗粒分离器 |
ADL HXF 150–HXF 300系列是敏感涂层溅射工艺的专属电源解决方案,15-30kW单台功率搭配240kW并联扩展,兼顾精准控制与功率灵活性。核心优势在于≤0.3 mj/kW的超低电弧能量,有效保护敏感涂层完整性;与HX系列兼容的设计降低设备升级成本,脉冲发生器接口拓展工艺适配性。
水冷散热保障高负荷稳定运行,凸缘安装、可分离旋转显示器等设计提升安装操作便捷性,冷凝水防护与颗粒分离功能增强设备耐用性。产品集高精度、高兼容性、高可靠性于一体,为光学镀膜、微电子等对涂层敏感度要求高的高端工业场景提供稳定电力支持。