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服务时间：周一至周五 9:00-18:00
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| 参数 | ArF 类型 | ArF 类型 | ArF 类型 | KrF 类型 | KrF 类型 | KrF 类型 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 波长（纳米） | 193 | 193 | 193 | 248 | 248 | 248 |
| 最大重复频率（赫兹） | 200 | 500 | 1000 | 200 | 500 | 1000 |
| 稳定脉冲能量（毫焦） | 6 | 6 | 6 | 10 | 10 | 10 |
| 稳定脉冲功率（瓦） | 1.2 | 3.0 | 6.0 | 2.0 | 5.0 | 10 |
| 能量稳定性（标准差，%） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 光束尺寸（半高宽，垂直 × 水平 毫米） | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 |
| 光束发散角（半高宽，垂直 × 水平 毫弧度） | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 |
| 脉冲宽度（半高宽）（纳秒） | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 | 5-15 |
MLI-200 / 500 / 1000 是 MLase AG 推出的紧凑型单相准分子激光器，分为 ArF（193 纳米波长）和 KrF（248 纳米波长）两大系列。产品采用刚性设计与全金属密封灯管，搭配电晕预电离技术和固态电路，具备高可靠性与超长使用寿命，可承受数十亿次脉冲操作。其核心优势包括均匀的光束轮廓、即时启用无老化问题、能量稳定且易于集成，适用于多种需要精准激光处理的工业场景。
