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我们广泛的产品组合包括各种激光系统,这些系统以其性能、可靠性和精度而著称。MLase 准分子激光器覆盖所有典型波长(193nm、248nm、308nm),每脉冲能量范围高达 200mJ 以上,脉冲重复率高达 1,000 Hz。
| 参数类型 | 参数值 |
| 覆盖波长 | 193nm(ArF-氩氟)、248nm(KrF-氪氟)、308nm(XeCl),可按需定制其他波长 |
| 每脉冲能量 | 高达 200mJ 以上 |
| 脉冲重复率 | 高达 1,000 Hz |
MLI 系列准分子激光器为工业应用提供各种波长,包含MLI-200 / 500 / 1000 激子激光器、MLI-500 / 1000 激射激光 LC等型号。这些紧凑的独立紫外激光器提供市场上最佳的使用寿命和可靠性,具有均匀的光束轮廓和能量稳定性,是要求苛刻的应用的理想选择。通过 USB 进行简单连接,并使用随附的软件进行控制,可实现快速设置和轻松集成。
还可以提供基于标准产品的具有个性化功能的定制 OEM 版本,集成商受益于标准化的界面和强大的本地支持团队。带有后缀“LC”的 MLI 型号还可以进行主动水冷却(通过生活用水或外部热交换器,无需去离子水),从而允许在 100% 占空比下稳定连续运行。
医疗领域:眼科手术(LASIK激光原位角膜磨镶术、PRK屈光性角膜切除术),采用193nm ArF激光器改变角膜形状优化光学特性;皮肤科领域,用308nm XeCl激光治疗牛皮癣和白癜风。
工业/检测领域:目视检测和计量、光学和微光学检测、激光图案化和划线、微加工陶瓷/金属/塑料等脆性材料、激光烧蚀/脉冲激光沉积(ICP-MS)、浸没式光刻、书写蒙版、直接晶圆加工。